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    康柏工業(yè)陶瓷有限公司

    136-9226-4978
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    產(chǎn)品中心Product Center

    半導(dǎo)體氧化鋁陶瓷件類別:半導(dǎo)體陶瓷件

    簡(jiǎn)介:半導(dǎo)體制造設(shè)備部品(腔體部件、絕緣法蘭盤、蝕刻設(shè)備部件、晶圓夾盤);粉碎機(jī)部件(分級(jí)機(jī)、氣流式粉碎機(jī)、珠磨機(jī));一般產(chǎn)業(yè)用部件(激光加工機(jī)噴嘴、轉(zhuǎn)軸、軸承);高精度用,精密用,耐熱用冶工具(定位治具、裝配夾具);耐磨耗部件(拉絲機(jī)導(dǎo)向輥、鋼絲通道、導(dǎo)軌);電絕緣部件(絕緣子、墊片、襯套)。

    產(chǎn)品介紹

    氧化鋁(Al2O3)是精密陶瓷中常用的材料。我司供應(yīng)純度為99.5%和99.9%的產(chǎn)品。


    氧化鋁(Al2O3)主要用途

    半導(dǎo)體制造設(shè)備部品(腔體部件、絕緣法蘭盤、蝕刻設(shè)備部件、晶圓夾盤);粉碎機(jī)部件(分級(jí)機(jī)、氣流式粉碎機(jī)、珠磨機(jī));一般產(chǎn)業(yè)用部件(激光加工機(jī)噴嘴、轉(zhuǎn)軸、軸承);高精度用,精密用,耐熱用冶工具(定位治具、裝配夾具);耐磨耗部件(拉絲機(jī)導(dǎo)向輥、鋼絲通道、導(dǎo)軌);電絕緣部件(絕緣子、墊片、襯套)。


    特點(diǎn)
    ○ 氧化鋁是白色或乳白色的陶瓷,利用其優(yōu)異的電絕緣性能,早期開(kāi)始即應(yīng)用在電子部品上,使用量較多,是精密陶瓷中成本很低的材質(zhì)。

    ○ 我司供應(yīng)純度為99.5%和99.9%的高純度產(chǎn)品。高純度類型氧化鋁的機(jī)械強(qiáng)度高、耐腐蝕性優(yōu)異,可生產(chǎn)大型產(chǎn)品。

    ○ 此外,由于其具有優(yōu)異的耐等離子特性,也可用于CVD設(shè)備或蝕刻設(shè)備的部件。



    型號(hào)

    特點(diǎn)

    密度

    楊氏彈性模量

    彎曲強(qiáng)度

    斷裂韌性

    熱膨脹系數(shù)

    熱傳導(dǎo)率

    體積電阻



    [g/cm3]

    [GPa]

    [MPa]

    [MPa?m1/2]

    [×10-6/K]

    [W/m?K]

    [Ω?cm]

    氧化鋁99.5%

    用途廣泛高剛性

    3.9

    370

    440

    3~4

    6.3

    33

    >1014

    氧化鋁99.9%

    高純度高剛性

    3.9

    370

    450

    3~4

    6.3

    30

    >1014


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